|
|
-
АКТУАЛЬНОСТЬ ПРОЕКТА
Тензорезистивный сенсор давления, изготовленный по технологии MЭMC, содержащий кремниевый упругий элемент и поликремниевые тензорезисторы и терморезисторы с диэлектрической изоляцией. Отличительные особенности: расширенный диапазон рабочих температур от -60 до +2000 С, повышенная чувствительность за счет НОУ-ХАУ, встроенная температурная компенсация чувствительности, наличие независимого канала изменения температуры на основе температурного делителя. Диапазон измеряемых давлений по
- выбору в интервале 1-40 атм. Напряжение питания, 5 В.Номинальный выходной сигнал, 130 мВ. Основная погрешность, не более 0.5%. Температурные коэффициенты чувствительность и начального разбаланса, не более 0.02% град-1. Разработка относится к области экстремальной электроники и реализуется методами микросистемной технологии (МСТ). Экстремальная электроника относится к наиболее динамично развивающемуся сектору рынка электроники в мире со среднегодовым приростом 19-20%. В России отсутствует серийное производство сенсоров давления, производимых методами МСТ и работоспособных в интервале
- -80÷250-3000C. Между тем имеется большая заинтересованность в таких сенсорах для отраслей, упомянутых в п. 2.
ЦЕЛЬ ПРОЕКТА
Создание сенсора для теплоэнергетики, автомобильной, нефтегазовой и авиационно-космических областей, работоспособного в интервале до 250÷3000C, позволяющего контролировать давление в диапазоне 1÷100 атм. Организация производства и расширение рынка
НАУЧНЫЙ ЗАДЕЛ
отработана технология. Изготовлены опытные партии. Получен патент РФ №2329480. Разработка награждена серебряной медалью Международного салона промышленной собственности «Архимед-2011» (Москва, Россия).
-
ОЖИДАЕМЫЙ ЭФФЕКТ
Будут разработаны физические модели работы сенсоров давления на основе тензорезистивных слоев поли и монокристаллического кремния с диэлектрической изоляцией на кремниевом упругом элементе.
Будут разработаны конкретные варианты мультисенсоров и организован серийный выпуск.
Будут улучшены технико-экономические характеристики существующих мультисенсоров давление – температура ИТП-1, ИТП-2.
- В итоге, продукт позволит повысить надежность работы аппаратуры в авиационно-космической и нефтегазовой промышленности при одновременном упрощении конструктивного исполнения аппаратуры за счет уменьшения либо отказа от систем охлаждения.
|
|
